中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9381859 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-KVCN拡散炉とアクセサリ装置は、シリコンウェーハや化合物半導体材料などの先進的な熱処理に幅広いオプションを提供します。熱工程の信頼性と再現性を考慮して設計された、信頼性の高い堅牢なシステムです。TEL Alpha 303i-KVCNは、精密な温度制御を可能にし、また、より高度なシステムの1つを利用可能にする他の多くの機能を提供しています。このユニットは、取り外し可能なアクセスパネル、センターケース/バッファチャンバー、および包囲されたklystronを備えたフロントエンドのマルチポート真空ゲートバルブを介して、サービス担当者に簡単にアクセスできるメインチャンバーで構成されています。主要な部屋は有効な温度調整のための優秀な絶縁材および温度の均等性と設計されています。このマシンは最大9個の2インチウェーハを同時に収容でき、エピタキシー、CVD、酸化物、窒化物などのプロセスに適しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-KVCNは、高度な温度コントローラと圧力コントローラを備えた優れた温度および圧力プロファイル制御を提供します。温度調節器は主要な部屋の温度の精密な制御を提供し、正確な結果のための正確な温度を保障します。温度制御は基質材料および変数に効率を高め、手動介入の必要性を減らすカスタマイズすることができます。圧力コントローラは、プロセスの特性に基づいて圧力プロファイルを自動的に調整し、温度プロファイルを最適化し、より正確な処理を可能にします。Alpha 303i-KVCNには、利用可能な最も安全なシステムの1つになる高度な安全機能も多数搭載されています。これには、緊急時に熱の源を遮断する自動温度制御ツール、手動でリセット可能な安全ヒューズ、および緊急シャットオフスイッチが含まれています。これらの機能は、人員と設備の両方を保護し、資産の安全な運用を確保します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCNは、プロセス制御の向上と柔軟性の向上を可能にするさまざまなアクセサリを提供しています。これらのアクセサリには、ロードロックモデル、フィルムグレードのサンプルチェンジャー、自動化されたプロセスモニタリング装置、プログラマブルウェハホルダーが含まれます。その他のオプション部品には、フォトレジストシステムとウェハ操作ユニットがあります。TEL Alpha 303i-KVCN拡散炉アクセサリマシンは、さまざまな熱処理アプリケーションに多大な可能性を提供する信頼性の高い堅牢なツールです。このアセットは、高度な温度コントローラと圧力コントローラにより、温度および圧力プロファイルの優れた制御を提供します。このモデルには、さまざまな安全機能、追加のアクセサリ、および柔軟なプログラミング機能も含まれています。高品質な構造、信頼性、柔軟性を備えたTOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCNは、高度な熱処理装置をお探しの企業に最適です。