中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、半導体装置の加工や産業用加熱、研究開発など、さまざまな産業用途向けに設計された拡散炉です。TEL ALPHA 303IKは、高性能の加熱冷却システムを備えた堅牢で耐久性に優れ、信頼性の高い拡散炉です。革新的なベル型の外構造で、均一なサーマルプロファイルと均一なドウェル時間、および精密な温度制御のためのオプションのプログラマブル自動リフトメカニズムが含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kは、最高1100°Cの高精度な温度制御をすべてのサイズのウェーハに搭載し、極めて高精度な温度均一性を実現しています。また、急速冷却、自動フタ位置メモリ、高度な安全機能を備えており、高温での意図しない長時間の動作を防止します。オプションの「スタックウエハキット」を使用することで、1つの1つの炉サイクルで1つまたは2つの層に複数のウエハを均一に熱処理できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKの高度な加熱冷却システムにより、さまざまな産業ニーズに対応する精密で再現可能な温度プロファイルを実現します。出力は最大10kWまで調整可能で、ウェーハへの出力は最大2kWまで調整可能です。ALPHA 303 I Kには、高精度のドライエッチングおよび/またはイオン注入プロセス用のガス拡散システムも内蔵されています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kのユーザーフレンドリーなインターフェースと強力なデータ解析ソフトウェアにより、セットアップと操作を簡素化し、強力な機能を提供します。このソフトウェアを使用すると、操作を迅速にセットアップし、頻繁に使用される設定の組み合わせを節約し、標準的なレシピを使用して操作するだけでなく、複数の炉を同時に操作することができます。TEL Alpha 303i-Kの堅牢な構造により、産業環境においても信頼性の高い性能を発揮し、ヒステリシス作動式のガスシャットオフ、調整可能な高温保護装置、緊急停止ボタンなどの広範な安全機能により、制御されていない過熱または過圧イベントに対する信頼性の高い保護を提供します。全体的に、ALPHA 303IK拡散炉は、幅広い産業用途に信頼性の高い正確な熱処理を提供します。革新的なベルタイプの外構造、優れた温度制御、急速冷却、幅広い安全機能、高度なガス拡散システム、統合されたユーザーフレンドリーなインターフェース、および強力なデータ分析ソフトウェアにより、温度クリティカルなプロセスに最適です。