中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9402693 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、タングステンおよびスパッタリング酸化皮膜増殖用途に特化した拡散炉です。薄膜の成長や成膜プロセスに最適な高度な機能を多数備えています。この拡散炉には、炉と隣接する電極の接続点を正確に調整できる極性反転「T」電極が装備されています。これにより、電極とそれぞれの電源のずれによる潜在的な問題が解消されます。TEL ALPHA 303IK拡散炉には3ゾーンの自動熱制御装置があり、チャンバー全体にわたって正確な温度管理が可能です。このシステムは、チャンバーの3ポイントからの温度の正確な制御を維持することができ、内部の最大20ポイントで温度を監視することができます。これにより、正確な薄膜成長および蒸着プロセスに不可欠な正確な温度管理が保証されます。東京電子ALPHA 303 I Kは、精密な温度制御にデジタルPID制御技術を採用し、精度と一貫性をさらに確保しています。また、無停電電源装置（UPS）を備えているため、停電後も蒸着処理を継続することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKには、温度異常や機械故障時にアラームを鳴らすアラームユニットも搭載しています。さらに、温度、圧力、およびRF電力の使用状況を記録するデータロギングツールを備えており、ユーザーはさらなる研究のためにデータを簡単に分析して記録することができます。ALPHA 303IKには、ユーザーがパフォーマンスを最大限に発揮できる便利なアクセサリーや機能も多数搭載されています。これらには、モリブデンボートと駆動リフティング装置、水晶振幅計、空気圧バルブ、および手動および電気シャッターが含まれます。これらのアクセサリーはすべて、東京エレクトロンアルファ303i-K研究や産業用途に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kは、精密な温度管理が必要な薄膜成膜などに最適な信頼性と効率の高い拡散炉です。その最先端の技術と高度な機能は、高精度と一貫性、安全で安全な操作を保証します。これにより、東京エレクトロンアルファ303IK薄膜の成長と成膜に最適です。