中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-Kは、拡散炉とアクセサリーです。この拡散炉には独自のデュアルポケット設計が採用されており、その場でのガス循環を最適化することで、拡散プロセス中のソース効率と均質性を向上させます。中央に別々のホットゾーンを備えたホットウォールローディングチャンバーを備えており、ソース入口ポートを介して1方向の内向きソース・ガス・フローを可能にします。これにより効率的なフローパターンが形成され、プロセス結果の均一性が向上します。TEL ALPHA 303IKのデュアルポケットデザインは、ソースポケットとチャンバーの温度勾配を最小限に抑え、静圧変動を最小限に抑え、より安定したアルミナとアルミニウムドーパント成膜を可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kも使いやすいプログラマブルコントローラを備えています。このコントローラは、最大4段階のプログラム可能な中性子束変調を可能にします。その結果、ウェーハ全体にわたって均一なソース濃度を維持しながら、ソース活性の変化に素早く対応することができます。コントローラはまた、最大2°Cの精度で最大4ゾーンの温度制御を可能に±、拡散プロセス中に温度が正確に維持されることを確認します。この拡散炉は、熱前温度を段階的に回復するための3つの熱段階熱処理方法を使用して、エネルギー効率が良いように設計されており、ユーザーは0から40分までの回復期間を調整することができます。また、さまざまな動作パラメータを監視し、炉を指定された開始条件に自動的に復元するオートリカバリ機能も内蔵しています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKは、運転中に最高の安全基準を確保するために、さまざまな安全機能を備えています。それは部屋の漏出検出スイッチ、熱電対の壊れた監視、放射線防護装置、連結の安全システムおよび信頼できる操作を保証するのを助ける緊急停止システムが装備されています。さらに、粒子やその他の汚染物質がチャンバーに侵入し、拡散プロセスを妨害するのを止めるために、入口フィルタが取り付けられています。結論として、東京エレクトロンアルファ303IKは、最適な効率で安定した動作を保証するために設計された、特に信頼性とエネルギー効率の高い拡散炉とアクセサリーです。その場でのソースのガス循環、フラックス変調、エネルギー効率の高い熱処理、および包括的な安全機能を備えたプログラマブルコントローラは、すべてマイクロエレクトロニクス拡散に適しています。