中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394982 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394982
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12" MTO.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、高性能拡散炉と付属アクセサリーです。金属硬化、半導体製造、太陽電池製造などの産業用途向けに設計されています。その構造は、真空を加熱するための絶縁チャンバーと拡散炉と付属品を収容するためのフレームワークで構成されています。部屋はステンレス鋼から高い熱安定性を提供するためになされます。内部ボリュームは最大8つのウェーハに対応可能です。TEL ALPHA 303IKには誘電体フィルターを使用したSmartAligner 2。0システムが搭載されています。また、画質を向上させるための高度な光学要素を備えています。東京電子ALPHA 303 I Kの拡散炉は、室温から600°Cまでの範囲の温度制御を可能にするデュアルソース昇華ヒーターを備えています。二次発熱体は、低温で動作する場合に追加の柔軟性を提供します。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kには、真空ポンプや断熱ユニットなど、基板の均一性を向上させるさまざまなアクセサリーが装備されています。また、チャンバー内の温度を測定するためのターボポンプと熱電対を備えています。さらに、ALPHA 303 I Kには、温度や空気の流れなどのプロセスパラメータを管理し、ウェハの負荷を制御するための統合ソフトウェアが含まれています。このソフトウェアは、プロセス結果を分析し、機器の動作を最適化するために推奨されます。Alpha 303i-Kは、さまざまな産業用途に適した信頼性の高い効率的な拡散炉およびアクセサリーです。それは正確な温度制御を提供するために絶縁された部屋および高度の光学部品を特色にします、統合されたソフトウェアはより大きい制御およびプロセス最適化を提供します。
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