中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394529 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394529
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12" TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは産業用拡散炉とその関連部品です。大規模な生産と研究開発のために設計された高級機器です。優れたパフォーマンスと信頼性を提供し、ユーザーはサイクル時間を大幅に短縮し、効率を向上させることができます。TEL ALPHA 303IKには強力で高度な制御システムが搭載されているため、各工程を正確かつ正確に実行できます。このシステムは、直径200mmまでのさまざまなウェーハサイズをサポートしています。それは温度設定の広い範囲を特色にします、従ってアニーリング、拡散、結晶化、エピタキシャル成長、艶出しおよび治癒のようなさまざまな適用に、使用することができます。温度範囲は50°Cから1250°Cにあります。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kは、複数のプロセスを同時に実行できるように、2チャンバー構成も提供しています。この条件により、ユニットの使用率が向上します。さらに、オペレータを保護し、窒素不活性大気や高温監視機などの環境への影響を最小限に抑えるための多くの安全機能も提供しています。今日の市場で最も堅牢で信頼性の高いモデルの1つです。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKは、手動操作と自動運転の両方に対応し、様々なオプションが用意されています。これは、ツールのセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスだけでなく、手動で完全に自動化されたレシピ制御を可能にするソフトウェアパッケージの範囲を備えています。TEL Alpha 303i-Kには、クリーンで欠陥のない表面やデバイスを製造するために不可欠なin-situクリーニングステーションも含まれています。また、振動のない設計となっており、歩留まりの減少や微細加工によるプロセス性能を実現しています。Alpha 303i-Kモデルは、スペアパーツと工具のフルセット、および排気装置、IR冷却、追加の炉コントローラなどの包括的なアクセサリーが付属しています。それは手頃な価格で耐久性があり、特定の信頼性の高い結果を必要とするアプリケーションのための設定と機能の範囲を提供します。これにより、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kは最も人気のある拡散炉の1つになります。
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