中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、各種半導体材料をウェーハなどの基板に堆積するために使用される拡散炉およびアクセサリパッケージ装置です。これは、マルチサイクルプロセスレシピプログラミングをサポートする高度なデジタル制御、垂直炉システムです。このユニットは、高精度の拡散および/またはドーパントアプリケーションのタスクに最適です。TEL ALPHA 303IKは、最大1100°Cの最高温度に達することができる垂直プロファイルで設計されており、作業エリア全体で± 1°Cの温度安定性と均一性を備えています。これは内部炉の大気配分の精密な電気制御によって保障されます。安全性の観点から、東京エレクトロンALPHA 303 I Kには、潜在的な酸化や汚染を防ぐためのトリプルマフルチャンバーが装備されています。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKはハイスループットで動作し、マルチサイクルレシピごとに最大32ウェーハで最大15ウェーハのバッチ処理が可能です。それはまたN2、 Ar、 H2、 O2および他と必要に応じてドーピングを可能にする選択のガスと作動できます。本機の真空サイクルは-7 torrで、リーク率は1 x 10^-7 pa未満です。東京エレクトロンアルファ303i-Kには、拡散プロセスを支援する多数のアクセサリーも含まれています。プラズマ発生器、石英オーブン、パーティクルフィルター、安全フィルターなどがあります。このツールは、SEMI 3、 S2、およびESDの安全基準を満たすように認定されています。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kは約13kWの消費電力と、78。7 x 80。3インチ（2 x 2。04 m）のフットプリントを備えています。全体的に、TEL Alpha 303i-Kは、拡散および/またはドーパントのアプリケーションタスクに優れた性能を提供する高度なデジタル制御垂直炉アセットです。これは、アクセサリーの範囲が装備されており、厳しい安全基準を満たすために認定されています。このモデルは、拡散ニーズに対応した信頼性の高い高性能ソリューションをお探しのお客様に最適です。