中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9390670 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-Kは、± 3°Cまでの温度均一性、再現性、安定性を提供し、最大1,000°Cまでの炉温度を維持できる拡散炉および付属品です。この装置は、ポリシリコン、タングステン、ケイ化物、堆積高温誘電体（HTD）膜などの多数の材料の高温拡散蒸着および処理を提供します。このユニットは、化学種による汚染を低減する防汚空気管理装置で設計されています。TEL ALPHA 303IKは、ウエハレベルの熱均一フィードバックをはじめ、± 3°C以内の温度を自動制御する機能を幅広く提供しています。同様に、最大10％の熱伝達効率のエナメルケーブル、高度な電気制御システム、および安全で信頼性の高い動作を確保するための保護インターロックの広い範囲。拡散炉はまた、最大5つの6インチウエハに対応し、ユニット制御の有効性を最適化するために高温水晶ボートを提供しています。このユニットには、より高い熱質量抽出に最適化された仕様と機能を備えたユニークなノズル設計と、均一性、再現性、安定性の向上が含まれています。拡散チャンバはDLCコーティングで囲まれており、保護耐薬品性と断熱性を向上させ、ウェーハ間の均一性を確保します。ユニットの頑丈さと耐久性をさらに確保するために、炉本体はデュアル壁断熱機で設計されています。また、使いやすいインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、リモートPCまたはハンドヘルドデバイスからツールにアクセス、監視、制御することができます。センシング蓋を介して、ユニットはまた、リアルタイム炉の雰囲気制御、監視、レポートを提供します。さらに、この資産は、単一のパッケージで温度ロギングと温度制御を提供することができ、すべてのモデルパラメータは、リコール、リファレンス、比較目的のために内部メモリに格納することができます。東京電子ALPHA 303 I Kは、汚染リスクを最小限に抑えながら、素材を素早く便利かつ正確に加工できる、高度な高温拡散炉です。さらに、この機器には自動制御を容易にする機能が装備されており、幅広い機能と機能をユーザーに提供します。その結果、半導体、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、LED、その他オプトエレクトロニクス部品など、幅広い業界の材料の加工に適しています。