中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381862 を販売中
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ID: 9381862
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、マイクロエレクトロニクス業界におけるポリシリコンウェーハの製造に使用される拡散炉およびアクセサリーです。単位の設計は急速な熱処理および急速な冷却を可能にしますそれをいろいろ適用の使用のために適したようにします。耐久性のあるスチールケースに収納された大型チャンバーと、熱損失を低減する高効率のエアバッフル装置を備えています。大型チャンバーは最大1000個のウェーハに対応可能です。TEL ALPHA 303IKにはいくつかの異なるゾーンと電極があり、それぞれが加熱および冷却プロセスで特定の役割を果たすように設計されています。これには、250〜1600°Cの範囲で温度を調整できる暖房ゾーンが含まれます。0-125°Cから調節可能な冷却ゾーンも付属しており、すでに加熱されているウェーハの急速冷却を可能にします。ホットゾーンはイオンビームガンを備えており、温度とイオンを正確に制御することができ、ウェーハ上のイオンの均一な分布が得られます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kは、耐久性に優れたステンレス製の外装と真空タイトユニットを備え、クリーンルーム環境での使用に適しています。また、過熱を防止するために炉の温度と圧力を監視および調整する高度な安全システムを備えており、ユニットの寿命を延ばし、製品品質を向上させるのに役立ちます。コントロールユニットには液晶モニターも備えており、ユーザーは機械内の温度と圧力を監視することができます。熱処理機能に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kには、プロセスの最適化に役立ついくつかのアクセサリーも付属しています。これらにはイオンソース、アイソレータシールド、リモートコントロールが含まれ、すべてがプロセスの精度を向上させ、ツール内の汚染を低減するのに役立ちます。全体的に、アルファ303i-K拡散炉とアクセサリーは、さまざまな用途に適した高度な熱処理装置です。その特徴と付属品は、高品質のポリシリコンウェーハを製造し、汚染を低減し、効率を最大化するための信頼できるツールです。
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