中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381855 を販売中
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ID: 9381855
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4, 0.1%PH3/N2, ClF3
FUJIKIN Air valve
STEC: MFC, MFM
Load lock
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Quartz wares
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、開発環境と生産環境の両方で信頼性と正確なプロセス制御と柔軟な使用を提供するように設計されたアクセサリーを備えた最先端の拡散炉です。TEL ALPHA 303IKは、薄膜の成膜、アニール、拡散など、半導体業界の用途に適しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kには精密で正確なプロセスコントローラが搭載されており、プロセス全体の制御と一貫性を向上させます。加熱条件を維持する内部フィードバックシステムと高度な制御技術を使用することで、急速な工程変化でも均一な温度条件を維持します。これにより、各プロセスで高品質の出力が保証されます。Alpha 303i-Kは実験室および産業適用のために設計されています。それは正確で、信頼できる処理のためのコンピュータ制御パワー調節可能な暖房システムを特色にするユーザーフレンドリーな拡散炉です。これにより、サンプルサイズが大きい場合でも、加工面積全体に均一な加熱を行うことができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-Kには、窒素パージユニット、サンプルラック、大容量クォーツボート、セラミックノズルなどのアクセサリーが装備されており、精密かつ再現性の高いショット配信が可能です。窒素パージユニットは、要求の厳しいプロセスに必要な酸素レベルを低減するのに役立ちます。TEL ALPHA 303 I Kは、直径200mmまでのSEMIスタンダードウェーハにも対応しています。また、システムのセットアップと動作中に労働力を削減するための便利なローディングとアンロード領域を提供します。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKは、開発と産業用途の両方で精度と精度を提供するアクセサリーを備えた高性能拡散炉です。それは優秀な制御およびユーザーフレンドリーな操作、またプロセス均一性および信頼できる出力を保障するために印象的な付属品および設定の配列を提供します。
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