中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-K拡散炉は、高品質で精密なウェーハ加工に使用されるツールです。高度なウェハトランスファーとコーティング装置を備えたマルチゾーン炉です。それは2つの部屋から成っています：熱地帯および冷却地帯。加熱ゾーンは昇華とエッチング処理が行われる場所です。そして冷却の地帯はウェーハが冷却され、酸化物の層が形作られるところです。高度なウェーハ転送システムにより、各プロセスの拡散パラメータを正確かつ再現可能に制御できます。TEL ALPHA 303IKは、IRランプにより熱帯域を実現した高効率加熱ユニットを備えています。このランプは水晶管の中にあり、ユーザーが設定した温度範囲を制御することができます。このランプは、プロセスチャンバー内のシリコンウェーハに効率的に吸収される可視光とIR放射を放出します。また、各ゾーンの加熱速度と冷却速度を別々に制御することで、熱プロファイルを正確に制御することができます。さらに、先進のTZTC （Two-Zone Temperature Control）機能により、熱帯および冷却帯の温度を正確に制御することができ、チャンバー内の均一で正確な拡散速度を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kは、高精度のエッチングと昇華プロセスも可能です。その高度なコーティングツールは、薄膜や層の精密な堆積だけでなく、窒化およびエッチングプロセスを可能にします。統合された蒸着ヘッドは、200mmから300mmまでのさまざまなウェーハサイズ、およびさまざまな厚さに対応できます。統合された水晶部屋は処理の間にきれいな環境を可能にします。アセットには、ユーザーとモデルの両方を保護するためのいくつかの安全機能も装備されています。これらには、ユーザーが外部からすべての拡散パラメータを監視できるLCDディスプレイと、緊急時に機器をすばやくシャットオフできる緊急停止ボタンが含まれます。TEL Alpha 303i-K拡散炉は、ウエハ加工の高度かつ精密な工具です。効率的な加熱システム、2ゾーンの温度制御、統合された石英チャンバーなどの高度な技術を備えています。これにより、正確な蒸着およびエッチング処理、ならびに窒化および昇華プロセスが可能になります。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKは、高度な機能により、高品質で精密なウェーハ加工が可能であり、あらゆる開発・生産ラボに最適です。