中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381821 を販売中
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ID: 9381821
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、高精度の拡散炉であり、信頼性と正確な生産のために設計された付属品です。303i-Kは、高度な3ゾーンの管状炉の設計とカスタムメイドの統合ベローズを採用し、最適なプロセス制御のための均一な温度プロファイルを作成します。優れたエンジニアリングと現代的な機能のこの組み合わせにより、303i-Kは幅広いアプリケーション要件に最適です。TEL ALPHA 303IKの高度なエンジニアリングは、プロセス制御と熱性能を最適化するさまざまな印象的な機能を提供します。それは優秀な断熱材を提供する有効な陶磁器の発熱体の構造を特色にします。この設計は熱損失を減らし、有効な熱制御を可能にします。さらに、統合されたステンレス製のベローズは、炉室全体に均一な温度分布を保証します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kの高度な設計は、優れたプロセス安定性と一貫性を提供します。統合されたマイクロプロセッサベースの制御装置は、拡散プロセス中のすべてのポイントで正確な温度を保証します。その統合された空冷システムは、熱衝撃からの迅速な回復を可能にし、プロセスのダウンタイムを最小限に抑えるのに役立ちます。コントロールユニットは、プロセスの自動化とデータストレージ機能も提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKには、最高の効率と精度を確保するためのさまざまな精密アクセサリーが含まれています。カスタムメイドのロードロック、プロセスチャンバー、およびプロセスサポートシステムは、特定のアプリケーション要件を満たすために利用できます。標準的な付属品には、サーマルコントローラ、マスフローコントローラ、サンプラー、ヘリウムリーク検出器、および安全システムが含まれます。メンテナンス・修理のため、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kはアクセスのしやすさを考慮して設計されています。炉の部屋は点検のために容易にアクセスでき、モジュール式プロセス部屋は速く、簡単な修理を可能にします。インテリジェントコントロールマシンは、詳細な診断を提供し、トラブルシューティングとメンテナンス手順を支援します。全体的に、Alpha 303i-Kは、正確で信頼性の高い製造操作のために設計された最先端の拡散炉とアクセサリパッケージです。ALPHA 303 I Kは、高度な設計、統合制御、および精密アクセサリを備え、さまざまなプロセスアプリケーションに最適なソリューションです。
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