中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281998 を販売中

ID: 9281998
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Furnace, 12" MTO 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、先端機器の製造に使用するために設計された拡散炉とアクセサリー装置です。これは、高効率で信頼性の高い強力なシステムであり、優れたパッシベーション性能で高品質のデバイス生産を保証します。TEL ALPHA 303IKユニットには、高研磨室壁を備えたメイン拡散炉とアクセサリー部品が付属しています。この拡散炉は、さまざまな半導体基板に適したセラミックおよび合金材料を幅広く備えており、製造される各デバイスが最高レベルの性能を発揮します。また、高度な温度制御機能を備えており、加熱温度を正確かつ正確に制御し、基板の損傷や欠陥を最小限に抑えることができます。また、東京エレクトロンアルファ303 i Kツールは、高速ガス除去用の抽出ガス資産を有しています。このモデルの主なアクセサリー部品は、ウェーハの積み下ろしプロセスを効率的に自動化する炉ロボットです。ウエハを炉内に正確に配置できる専用の可動アームを備えています。炉ロボットはまた、ウェーハの任意のサイズに対応することができる柔軟な設計を持っており、高速ロード/アンロードのサイクル時間を持っています。また、最適な均一性と歩留まりを実現する高精度アライメントも可能です。TEL ALPHA 303 I K装置には、ガスの流れを制御するための偏光シャッターシステムも搭載しています。このユニットは、最適な酸化/還元制御と精密ガス供給のために設計されています。シャッターマシンには、各デバイスの製造プロセスの要求に応えるために、ユーザーがシャッター幅を調整することができる非常に応答性の高い調整ツールがあります。最後に、ALPHA 303IK資産にはALTAIR統合ソフトウェアモデルが付属しています。この機器は、最高レベルのパフォーマンスとデバイスの歩留まりのためにプロセスウィンドウを最適化することができ、特殊なソフトウェアアルゴリズムの範囲を利用しています。ソフトウェアシステムはまた、プロセス制御機能を簡素化および自動化し、ユーザーに多くの貴重なレポートとグラフィックディスプレイを提供し、デバイスの製造結果をリアルタイムで監視できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kは、主な拡散炉とそのアクセサリー部品を備えた、デバイス製造のための強力で信頼性の高いユニットです。このマシンは非常に効率的で、優れたパッシベーション性能を提供しますが、高度な機能とソフトウェアツールはデバイスの生産プロセスを簡素化および自動化します。
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