中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281997 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、半導体加工アプリケーション向けの包括的なソリューションを提供するアクセサリーを備えた拡散炉です。それは優秀な温度の均等性、低い電力の消費および内部の最低の汚染を提供します。高度な制御と自動化により、ユーザーはパラメータを正確に制御することができ、複雑な生産プロセスに最適です。TEL ALPHA 303IKは、最大ウエハ径16mm、加熱面25mmのデュアルウエハ機能を備えています。2。5 kHzのHe-Neレーザダイオードを使用して温度を正確に測定し、ウェーハを最大1200ºCの温度まで連続的に加熱することができます。また、ランプヒーター/ドライヤー、自動ウェーハハンドリングロボット、ウェーハムーバー/回転ステージ、層流フードなど、さまざまな補助部品を組み合わせて、完全な半導体加工ソリューションを提供することができます。東京電子ALPHA 303 i Kには、稼働時間準備技術が搭載されており、操作中のセットアップと生産性の監視が容易です。直感的なユーザーインターフェイスと自動レシピの最適化により、プログラミングエラーを低減し、一貫した高品質の結果を保証します。オゾンベースの洗浄モジュールは、ウェーハ表面からの汚染を徹底的に除去することができ、処理中の黒い残留物の蓄積を防ぐことができます。インテリジェントなサーマルコントローラは、正確な温度制御と均一性を提供し、ユーザーは消費電力を削減し、歩留まりを改善することができます。内部部品は長期信頼性を提供するように設計されており、メンテナンスの問題を軽減するために特別な耐久性のある材料でコーティングされています。高性能ポンプは、サンプリング時間を短縮し、システムへのガスの迅速な拡散を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKは、有害ガスへの偶発的な暴露を防止する安全対策を内蔵しており、通気性の高い設計により安全な作業環境を確保しています。最後に、自動ロック解除システムも含まれており、適切な承認なしにマシンを開くことができないようにします。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、優れた温度均一性、低消費電力、最小の汚染および信頼性の高い性能を提供するアクセサリを備えた先進的な拡散炉であり、半導体加工アプリケーションに最適です。