中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274260 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9274260
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Diffusion furnace, 12" Process: Poly GFC (SiH4, 0.1%PH3 / N2, CIF3) 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-K拡散炉は、適度な温度で高品質の拡散・酸化プロセスを生成するために設計された装置です。それはちょうど適切な温度、冷却および残留酸化の率の精密な、反復可能な拡散を作り出す費用効果が大きい解決です。TEL ALPHA 303IKは、材料に関係なく最大500gの容量を持つ単一のるつぼを備えています。室温から1300°Cまでの高精度温度制御と、ほとんどの材料タイプや用途に対応する幅広いアクセサリーを備えています。さらに、この炉は半導体プロセスに最適な均質な時間を提供するように設計されています。炉はまた、拡散プロセスを最大化するために一連のデワックスプログラムを利用しています。この炉は、過熱保護のための過熱緊急スイッチ、防塵および安全性を最適化するための外部通気など、高度な安全機能を備えています。また、LEDインジケータライトも備えており、目標温度に達すると緑色に変わり、拡散プロセスが完了することを示しています。さらに、炉は高水準の絶縁材および均一な暖房を保障するのに特別なPyrexの部屋を使用します。東京電子ALPHA 303 i Kには、温度と冷却速度のための内部冷却ファン、および開閉システム用のアクセスドアが装備されています。また、ベース、ローラー、ヒーターウィンドウ、タイマーなどの追加アクセサリーも付属しています。これにより、ユーザーはより良いニーズに対応するためにシステムをカスタマイズすることができます。結論として、東京エレクトロンALPHA 303IK from TELは信頼性の高い費用対効果の高い拡散炉であり、適度な温度で正確で再現可能な拡散および酸化プロセスを生成し、最高品質の拡散結果を提供するのに最適です。
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