中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274259 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9274259
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Diffusion furnace, 12" POLY VMM-56-002 GFC (SiH4 ,0.1%PH3 / N2, CiF3) 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、各種電子部品の効率的な製造のために設計された拡散炉とその付属品です。この炉とその関連部品は、半導体技術を生産するすべての企業の定番です。この拡散炉は± 50°Cの均等性の900°Cまでの温度較差を特色にするロードロック式の炉です。炉には、安全で信頼性の高い動作環境を確保するために、広範な安全インターロックユニットと重要な真空コンポーネントとペアリングされた調整可能な2ポートの真空ポンプシステムが含まれています。この拡散炉はまた、精密なプロセス制御のための高速データロギングを備えた高度なリモートモニタリングマシンを誇っています。拡散炉に加えて、TEL ALPHA 303IKツールにはさまざまなアクセサリーが含まれています。これらには、シングルウェーハカセット、2ウェーハロボットアーム、およびスムーズで安全な操作を保証するために計装保護用の低レベルのインジウムパンが含まれます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kには、空気と酸素を正確に制御してウェーハや部品加工を正確に監視できるヒーターカバーとヒーターベースが含まれています。この拡散炉のもう一つの特徴は、マニュアル・カセット・マガジンで、最大32個の6インチウエハまたは100-84インチウエハを収納できます。このカセットは、キャリアやロボットアームがなくても操作でき、初心者でも簡単なワンボタン操作アセットをすばやく習得できます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kには、ガスライン2本、ガスシリンダーラック1本、オプションのガスシリンダーラックモーターが搭載されています。結論として、Alpha 303i-Kは、多数の電子部品を製造するための効率的で信頼性の高いモデルを提供しています。調節可能な部品、高温範囲、および精密な遠隔監視装置の範囲はそれを半導体技術を扱うあらゆる会社のための貴重な装置にします。
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