中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9273544 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、半導体加工のために設計された拡散炉です。60cm四方の水平炉とアクセサリーを備えた包括的で自動化されたシステムで、製造と統合における最大限の柔軟性を可能にします。TEL ALPHAの中心にある303IKユニットは、効率的な発熱体と簡単な設計を組み合わせ、高速で均一な加熱を実現する拡散炉です。より大きなサイズは、より効率的で強力な発熱体の使用を可能にし、より高い温度とより正確で安定した温度制御をもたらします。また、デュアルウォール断熱設計を採用し、エネルギー効率を向上させ、処理中の適切な温度を維持しながら熱損失を排除します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kマシンは、最大プログラム可能な温度1,100°Cで、最大900°Cのプロセス温度に達することができます。このツールはまた、± 2°Cの正確な温度均一性を提供します。垂直エレベーターの設計により、大規模な処理も容易になります。ロードロック、前方冷却、クォーツモニター、マルチゾーン温度制御アセットなどの追加アクセサリにより、TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、多くの製造および統合アプリケーションに最適なモデルとなっています。このアクセサリスイートは、プロセスを加速し、結果を向上させるのに役立ちます。TEL ALPHA 303 i K装置は、長期的な使用と信頼性のために設計されています。その優れた断熱材は、時間の経過とともに温度が均一に保たれ、そのパワーセーバーモードは、システムによって生成された熱をチェックし続けます。延長されたヒーターの化学薬品の寿命はまた化学薬品の費用を削減するのを助けます。メンテナンス面では、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 i Kユニットは、簡単で簡単な検査ルーチンを提供します。また、モジュラー設計により、ダウンタイムを最小限に抑えて最大のパフォーマンスを実現します。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK機は全体的に信頼性が高く、効率的で柔軟な拡散炉とアクセサリーツールであり、高温処理および統合アプリケーションに使用できます。その優れた加熱機能、温度制御、およびアクセサリースイートは、プロセス時間を短縮し、結果を改善するのに役立ちます。