中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618106 を販売中
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ID: 293618106
ウェーハサイズ: 12"
LPCVD Furnaces, 12"
Process: MTO
Heater type: VMM-56-002
Non-load lock
Gases:
N2
SiH4
N2O.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-K拡散炉&アクセサリーは、高品質の半導体デバイスを製造するための信頼性と高度なソリューションを提供するために特別に設計されています。それは優秀な沈着の均等性、温度の正確さおよび制御を提供する高度の暖房装置です。303i-Kモデルは拡散炉、るつぼ、絶縁材、ベローズ、真空ポンプおよび電子工学のキャビネットから成っています。TEL ALPHA 303IKの拡散炉は、片側にアノード、もう片側にカソードを備えたステンレス製のボックスです。23点の発熱体を備え、常に優れた均一性を提供する特殊な熱分布システムです。るつぼは8 "x 8" x 24"の容量のアルミナおよび水晶材料から成っています。絶縁材はグラファイトシートおよび絶縁絶縁材テープの形で提供され、優秀な分離および温度調整を提供します。ベローズは特別な真空ポンプで、絶縁材と一緒に動作し、操作中の所望の圧力を維持します。東京電子ALPHA 303 I Kの電子キャビネットは、炉の動作を最適に制御する複数のコンポーネントで構成されています。これには、複数のユーザーフレンドリーなディスプレイを備えたコントロールパネルと、電源を接続するための電気コネクタが含まれています。さらに、チャンバー内のガスと圧力の流れを調整するための手動のフロー制御システムを提供しています。東京電子アルファ303IK拡散炉&アクセサリーは、高品質の半導体デバイスを製造するための先進的で信頼性の高いソリューションです。その特別な発熱体は顕著な均等性、温度の正確さおよび制御を提供します。また、便利な電子キャビネット、効率的な真空ポンプ、絶縁材を備えており、優れた絶縁と温度制御を実現しています。この拡散炉&アクセサリーは、信頼性が高く、費用対効果が高く、高効率で、優れた結果と最高の性能を提供します。
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