中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293607142 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、半導体ウェーハやフォトマスクの製造、成膜、エッチング、急速熱処理など、さまざまな用途に使用できるように設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。TEL ALPHA 303IKは、エネルギー効率の高いプラットフォームで高性能で信頼性の高い動作を提供します。東京電子ALPHA 303 i Kの拡散炉システムは、3つの電極、2つの陰極、1つの陽極で支えられています。アノードは、炉に高い電界強度を提供する負のバイアス源です。2つの陰極は、最大3KWの電力レベルを生成することができ、最小の電力を消費しながら、このような高温に達することができます。拡散炉は高温るつぼで構成されています。温度調整の単位；炉の中の温度を読む温度計；高温で不活性ガスを導入する冷却塔とスペース。ヒートマンドレル；そして電力供給、配電を制御するため。高温のるつぼは水晶管と並んでいます、これは、電流が拡散プロセス中に均等に分布することを保証します。温度計には、炉の内部温度をリアルタイムで正確に検出できる温度プローブが取り付けられています。冷却塔とスペースは、窒素やアルゴンなどの不活性ガスで拡散プロセスの後に炉を冷却することを可能にします。これは、さまざまな条件下で信頼性の高い動作を維持するように設計されており、拡散プロセスが完了した後に発生する可能性のある酸化を最小限に抑えます。バブラー、酸素センサー、ポンプ、加湿器、帯電防止ケージなどのアクセサリーもAlpha 303i-Kと互換性があります。拡散プロセスの後で水ベースの冷却剤および酸化防止代理店の速く、信頼できる取り外しを可能にするために特別な出口は提供されます。また、TEL Alpha 303i-Kには警告アラームと緊急遮断機能が搭載されており、常に安全な動作を保証します。全体的に、TEL ALPHA 303 I Kは、最小限の電力を消費しながら、信頼性と高性能の動作を提供する高度な拡散炉ユニットです。特徴、また付属品の組合せによって、この機械はいろいろな適用のための大きい選択です。