中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606621 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、さまざまな技術用途で使用される基板材料を対象とした拡散炉および関連アクセサリーです。この炉は、1980年代に開発された日本の拡散炉の技術の初期の例の1つである拡散炉の303-Seriesの一部であり、現在は産業規模で広く使用されています。TEL ALPHA 303IKは、3ゾーンの石英セラミックチャンバーを備えており、1000、1100、1200°Cの温度に達することができ、拡散ゾーンを正確に制御することができます。スタンド、机などに設置できるように設計されており、チャンバーからの排出ガスを安全に除去するための特別な換気システムが付属しています。東京電子ALPHA 303 I Kは、材料を加熱するためにハロゲンまたはキセノンの単一源を使用していますが、他の加熱源はTELまたは他の専門メーカーまたはサプライヤーから入手できます。また、8インチのウェーハチューブを備えており、チャンバーから実際の拡散ゾーンへのウェーハの迅速かつ正確な転送を可能にします。その他の機能としては、温度、圧力、加熱速度、ウェーハサイズなど、さまざまなパラメータと設定でプログラムできる組み込みコントローラがあります。エンベデッドコントローラを使用することで、ユーザーはタイムプロセスを簡単に設定することができ、チャンバの自動運転を可能にします。TEL Alpha 303i-Kの安全機能には、温度と圧力を監視する2つの安全センサがあり、安全基準を超えると拡散室をシャットダウンすることができます。さらに、真空チャンバーには圧力と温度を含む多数のセンサーが含まれており、危険な状況が発生した場合に再び炉をシャットダウンするために使用することができます。全体として、ALPHA 303 I Kは信頼性と信頼性の高い拡散炉であり、製造およびエンジニアリングプロセスに最適な幅広い機能を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kは、お客様の安全性に配慮したヒーターシステムです。