中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606619 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、あらゆる用途に優れたバッチ式真空炉加工を提供する拡散炉およびアクセサリーです。プロセス部屋はすべてのバッチ型の拡散の炉の必要性を満たすように特に設計され、耐熱性の陶磁器の天井が付いているステンレス鋼、加えて容易なアクセスのための内部および外のドアから組み立てられます。酸化アルミニウムを内外に塗布し、酸化に強い。TEL ALPHA 303IK拡散炉は、酸化、還元、不純物補償、およびその他の特殊な熱処理のために、最大2500°Cの最高温度処理用に設計されています。また、あらかじめ設定された熱処理パラメータメモリストレージ、処理後の自動冷却設定、レトルトタイマーなどの操作効率を実現する直感的な機能も備えています。さらに、この装置は、独自のI-Link機能により、正確で再現性のある加熱と冷却を提供します。連動操作により、加熱前の最適なコンディショニングを可能にし、各バッチが同じ方法で終了することを保証します。各操作の情報は、プロセッサ情報表示パネルまたは関連するPCに表示することができます。また、東京エレクトロンアルファ303 i K拡散炉は、高速クールダウンのために高効率の強制空冷（FAC）を使用し、生産性を大幅に向上させます。さらに、その革新的な技術は排水を最小限に抑えるのにも役立ちます：それは排気ガスの流れを制御するために比例空気流量モードを使用し、またプロセスチャンバーの無駄な過剰排気を防ぐために排気の流れと圧力を監視します。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K拡散炉には、自動ローダー/アンローダー、オプションのウェーハキャリア、加熱冷却カート、ガス供給システム、関連する配管システム、さまざまなサンプルホルダーなど、さまざまなオプションのアクセサリーとオプションが付属しています。さらに、熱処理やその他のパラメータの正確な監視を可能にするセンサーシステムとデータ収集も含まれています。ALPHA 303 I Kは、優れた機能を備えた優れた拡散炉とアクセサリーソリューションであり、最高レベルの精度と再現性で優れた加工と生産をユーザーに提供します。