中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606617 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、ウェーハやデバイスの熱処理を目的とした包括的な拡散炉およびアクセサリーです。この完全自動化された装置は、シリコンオンインシュレーター（SOI）、化合物半導体、MEMSデバイス製造に最適です。高い生産スループット、既存の製造ツールとの容易な統合、優れたデバイス品質を提供します。この303i-Kは、急速熱処理（RTP）、酸化物リフロー、金/金属リフロー、高熱SiO2蒸着など、さまざまな高度なプロセス機能を備えています。また、強力なオートコントロールシステムにより高精度な温度制御を実現し、複数の処理実行中に正確なプロファイルの再現性と精度を実現します。熱誘発応力によるエッジの誘電損失や反りを低減する独自の冷却ユニットを搭載しています。マシンは、ウェーハまたはデバイスの上面と背面を冷却することによって動作し、側面は所望のプロセスプロファイルに従って加熱されたままになります。これにより、非常に効率的な熱拡散が保証され、不均一または過剰な加熱による損傷が制限されます。さらに、303i-Kには、保護シールドや信頼性の高い緊急停止ツールなど、さまざまな高度な安全機能が含まれています。最近、RoHSコンプライアンスの独立したラボによって認定されており、世界中の多くの国で使用できます。また、リモートモニタリングとメンテナンス機能も備えており、リアルタイムの製品パフォーマンスデータにアクセスできます。最後に、303i-Kは柔軟な操作モードを備えており、ユーザーは特定のデバイスの個々の要件に合わせてマシンの設定を調整することができます。その直感的なユーザーインターフェイスは、包括的なドキュメントとともに、事前の経験なしにユーザーが素早く資産に精通し、その高度な機能を最大限に活用することができます。全体的に、TEL ALPHA 303IKは熱拡散と製造のための効果的なソリューションであり、優れたプロセス精度と再現性を提供します。