中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606615 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Kは、多種多様な基板を必要な条件に変換するために設計された拡散炉および関連アクセサリーです。優れた設計と高品質のコンポーネントを備えた最先端の製品で、プロセス中に信頼性の高い再現性のあるパフォーマンスを実現します。TEL ALPHA 303IKの主要部品は、耐熱ドームチャンバー、高性能電源、精密コントローラです。このチャンバーは、人間工学に基づいて設計された、放射マトリックスミラー仕上げのステンレス鋼から構成されており、優れた熱放射効果により、予熱速度と均一性が向上しています。チャンバーの壁は、より効率的なプロセスのためにMin-K絶縁で絶縁されています。チャンバー内にはフルサイズの傾斜ウエハボートがあり、各工程のウェハーの位置決めに使用されます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Kの電源は最大500Wの供給が可能で、複雑な工程にも対応できるパワフルな装置となっています。それは3つの異なった部屋の暖房地帯を収容するように設計されています、適用範囲が広いプロセス温度を可能にします。この電源には、高度なパルス幅変調（PWM）制御と高精度オシロスコープが装備されており、波形を厳密に制御できます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IKの精密コントローラは、プロセスパラメータを正確に設定・監視できる多機能デバイスです。加熱源、電源スイッチ、温度検出装置に接続されており、プロセス温度を最適に制御できます。さらに、コントローラを使用すると、複数のプロセスレシピをシステムにプログラミングできるため、必要に応じてプロセスを簡単に複製できます。Alpha 303i-Kは、高精度の拡散プロセスだけでなく、熱酸化、エッチング、スパッタリングなど、さまざまなプロセス向けに設計されています。同じ材料の最大11の異なる部分をエッチングすることができ、複雑な3D構造を可能にします。その優れたプロセスコントロールは、すべてのサンプルの均一な処理を保証し、カスタムパーツやアプリケーション向けの信頼性の高いユニットです。結論として、TEL Alpha 303i-Kは拡散処理および関連プロセス用の信頼性の高い高性能マシンです。その優れた設計と優れたプロセス制御機能により、精度と再現性を必要とするユーザーに最適です。