中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9377244 を販売中

ID: 9377244
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Vertical anneal furnace, 12" H2 Anneal 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉は、エレクトロニクス機器の高効率で信頼性の高い拡散を実現する最先端の熱処理ツールです。TEL Alpha 303i-Hは、業界最高水準を満たすように設計されています。高性能、信頼できるサイクルタイムの最適化、可能な多目的なリアルタイム制御および減らされた力、時間および費用。TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉は、最も要求の厳しいデバイス製造アプリケーションに最適な選択肢です。Alpha 303i-Hは、排他的でエレガントなワイドプロファイルデザインにより、ピークスループットの向上とサイクルタイムの短縮を実現します。最新のサーボエレクトロニクス技術と高度なソフトウェアコントロールを組み合わせることで、バルクウエハとエッジフレームの両方の急速かつ高精度な熱処理を可能にし、比類のない均一性とサイクルタイム制御を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、± 3°Cの優れた温度均一性を実現し、ステンレススチール製の大型ヒーターブロックにより、ゼロから最大1100°C ~までの急速かつ均一な加熱を実現します。TEL Alpha 303i-Hのその他の機能は次のとおりです。ヒーターブロックへの容易なアクセスを用いる人間工学的の部屋の内部、優秀な均等性のための高温ファンなしの強制対流システム、速度/温度制御、超高圧力機能および調節可能な流量の低圧システム設計との温度の傾斜を可能にする調節可能なパワー制御。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hはまた、そのパフォーマンスを向上させるために、アクセサリーの範囲を提供しています。ユーザーフレンドリーな操作のためのタッチスクリーンを備えた高度な完全プログラマブルコントローラ、最大10個のウェーハ、最大25個のウェーハを収容できる取り外し可能なカセットタイプのウェーハホルダー、改善されたサンプルの均一性を提供するステンレススチールメッシュスクリーン、大きな柔軟に取り付けられた真空ポンプ、およびパッシング。Alpha 303i-H Diffusion Furnaceは、ハイエンド拡散アプリケーションに最適なシステムで、ユーザーに最高の均一性、信頼性、および性能を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、優れた温度均一性、優れた温度応答性、パワフルで汎用性の高いツールで、先進的なデバイス製造に不可欠なツールです。
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