中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097239 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、市場で最も先進的な半導体ウェーハ処理拡散炉の1つです。この4基板炉は、革新的で高度な設計とカスタマイズ可能な設定を統合して、高品質のウェーハリングと優れたウェーハの均一性を提供します。TEL Alpha 303i-Hには、複数のロードポートとObsidianロジック制御が装備されており、負荷ゾーンとアンロードゾーンの両方でコア炉の温度を自動的に監視および調整します。また、東京エレクトロンアルファ303i-H独自の設計により、ヒーター寿命の延長、蒸気とガスの純度の向上、ウェーハの均一性の向上、正確な温度制御、基板の高速かつ効率的な積み下ろしが可能です。Alpha 303i-Hは、純度とガス使用効率を最大化する独自の統合ガス管理システムで設計されています。それは排気の損失、拡張可能なパージ時間、調節可能な流れおよび圧力設定、および高められた熱均一性のための閉鎖した部屋の単位を減らすために高度弁および出口を特色にします。この機械はまた温度の変動、より高い純度および均一性、および温度の均等性の部屋の一貫した蒸気露出を減らすために真空スイッチ、データポートおよび活動的な水ジェット機ポンプを含んでいます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hには、TEL PowerWaferIIの高度なウェハトランスポートツールが搭載されており、基板の高精度な積み降ろしが可能です。このアセットは、各ポートで個々の操作を可能にし、ウェーハのフォールオフとパーティクル汚染を最小限に抑えるように設計されています。PowerWaferIIには、自動コンタミネーションコントロール（ACC）モデルと密閉されたガスケットサブポートが含まれており、層のコンタミネーションを最小限に抑え、最大限のウェーハ安定性を確保します。TEL Alpha 303i-Hは、東京エレクトロン独自のユーザーフレンドリーなMGC-25 Platformを運営しており、柔軟なプログラミング機能を提供しています。このプラットフォームは、カスタマイズ可能な設定、あらかじめプログラムされた機能、および自動化された操作を可能にし、ユーザーは急速に拡散プロセスを構成、変更、監視することができます。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H拡散炉は、高度なモジュール設計、最適化されたガス管理装置、独自のPowerWaferIIウェーハ搬送システム、ユーザーフレンドリーなMGC-25 Platformを提供し、優れたウェーハ均一性と長寿命性を実現します。Alpha 303i-Hは、さまざまな半導体ウェーハ処理アプリケーションに対応する信頼性と信頼性の高い拡散炉です。