中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097237 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097237
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
MTO Furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉は、適切な材料をアニールするために使用される高精度、多機能熱処理装置です。一貫した熱均一性で低消費電力・高熱効率を誇るシングルチャンバー高密度誘導加熱装置です。機械は直径300mmの単一の暖房スペースを特色にし、750-1300°Cの間の温度較差で作動する温度の均等性の高い程度を提供します。それに熱環境を制御し、処理された材料の質を高めるために注入弁、排気ガスモニターおよび送風機をinculding少数の付属品があります。TEL Alpha 303i-Hは、大容量の真空システムと大型ガスアシスト排気ユニットを組み合わせた革新的な設計を採用しています。真空機は断熱および拡散プロセスを促進することができ、ガスアシスト排気工具はアニーリング工程中の温度管理を最適化します。マシンには、包括的な機器の監視と診断のメンテナンスを可能にするいくつかの高度な診断機能が付属しています。このマシンには、パフォーマンスと制御を強化するためのさまざまな機能が装備されています。これらの機能には、高度な電源制御、モジュール加熱および冷却制御、および柔軟な自動セットプログラミングが含まれます。高度な電源制御機能により、正確な温度と圧力制御が可能になり、各プロセスのステップに最適な温度が保証されます。モジュールの加熱および冷却制御により、加熱および冷却プロセスがさらに容易になり、ユーザーは処理される材料に合わせて温度レベルを変更することができます。この機能はまた、エネルギーの無駄を減らし、生産スループットを向上させます。最後に、自動化されたセットプログラミング機能により、より高速で一貫したプロセス実行が可能になります。また、東京エレクトロンアルファ303i-H拡散炉には、オペレータと環境の安全を確保する一連の安全機能が搭載されています。このマシンは、高温リミッター、過圧安全スイッチ、および余分な安全対策を提供するガス収率定数監視機能を内蔵して設計されています。さらに、完全な分離資産は、酸化を防ぎ、潜在的に危険な排出を排除するために、宇宙空間の絶対的な分離を保証します。全面的なアルファ303i-H拡散炉は多数の安全および性能の特徴の顕著な装置です。革新的な設計、高度な操作機能、さまざまな安全対策を備えたこの炉は、業界の専門家の間で最先端の選択肢です。
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