中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097236 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097236
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Nitride furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON先進の熱拡散炉であるAlpha 303i-Hは、最先端の半導体ウェーハを製造するために設計されています。この拡散装置には、強力な空冷誘導炉と最大温度制御および精密処理用のグラファイトヒーターが含まれています。システム全体がステンレス製のハウジングに囲まれており、安全性を確保し、外部汚染から保護します。TEL Alpha 303i-Hには、拡散処理をより効果的かつ効率的にするさまざまな機能とコンポーネントが付属しています。高度な光学ユニットは、プロセスチャンバーを清潔に保ちながら、ガスの流れ、温度、圧力を監視します。高度な拡散炉の技術は、使いやすく、直感的で、メンテナンスが容易なパッケージに含まれています。この炉はモジュール式で、トーチ、ロータリーアテンダント、ウェーハキャリアなどの追加アクセサリーを簡単に設置できます。パワフルな炉は、低消費電力の設計も特徴で、エネルギーを節約し、排出量を最小限に抑えることができます。TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉には、二酸化炭素の大気センサー、希釈ガス制御機、高度なプロセスコントローラ、セラミックブリッジなど、さまざまなアクセサリーが搭載されています。これらのアクセサリは、プロセスチャンバー内のパラメータを正確に制御することにより、歩留まりを最大化するのに役立ちます。このツールのグラファイトヒーターには、優れた温度均一性と制御を保証する適応型セルフチューニング能力を備えたマルチゾーン制御アセットが含まれています。グラファイトヒーターはまた、より効率的で経済的な拡散処理ソリューションを提供する燃料節約動作モードを誇っています。Alpha 303i-Hは、市場で最高のシステムの1つになるさまざまな機能を備えた強力で有能な拡散炉です。その先進技術、直感的なデザイン、組み込みアクセサリーはすべて、半導体ウェーハの研究者や技術者にとって理想的な選択肢です。
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