中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097229 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、様々な材料に均等に熱を分散するように設計された先進的な拡散炉です。高温シングルウェーハ拡散炉であり、プロセスの均一性と再現性を最大化するように設計されています。TEL Alpha 303i-Hは、高効率の拡散チャンバー暖房を備えた精密垂直プロファイル、機械的に堅牢で熱信頼性の高い暖房システム、および自動亜大気ガスパネルを備えています。垂直に取り付けられた精密炉と高効率の拡散チャンバーは、複数のガス流量と対流の両方を使用してウェーハ表面を急速に加熱および冷却することにより、信頼性の高い温度均一性を保証します。また、高性能ガスミキシングと亜大気ガス制御システムを自動化しています。この拡散炉は、高速加熱と冷却、均一で一貫した温度プロファイルのための線形反応チャンバー、コンピュータ制御の操作、直感的なタッチスクリーンのユーザーインターフェイスを備えています。高効率加熱能力と高精度温度制御により、金属、ポリシリコン、プラズマ蒸着、エッチング、埋め込みなど、さまざまな材料の加工が可能です。その他の機能には、高温プログラマブルプロファイル機能、50°C/minまでの急速なサンプルレート、および0。2°Cの温度均一性があります。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hには、緊急遮断スイッチ、排気システム、アラームシステムなど、さまざまな高度な安全メカニズムが搭載されています。また、設定をさまざまなプロセスで簡単かつ迅速に変更できるように高度に構成可能であり、サイクルタイムとコスト削減を向上させます。全体的に、Alpha 303i-Hは高温性能で効率的かつ一貫した熱処理を提供する高度な拡散炉であり、さまざまな熱処理ニーズに信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。