中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097228 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、半導体業界向けに設計されたトップラインの拡散炉とアクセサリーです。大気制御の強化、正確な温度均一性、高度な安全対策など、幅広い機能と機能を備えています。TEL Alpha 303i-Hは、拡散プロセス中に正確で信頼性の高い窒素源パラメータを確保するために、独自の「吸引」大気制御装置を備えています。また、高性能熱平衡センサを搭載し、炉内温度を自動調整します。さらに、高度な温度制御システムは、拡散領域全体にわたって温度の均一性を正確に調整し、高品質の製品歩留まりを確保するのに役立ちます。また、長寿命セラミック断熱材やアクティブモニタリングユニットにより、安全性と長期耐久性を実現した303i-Hです。セラミック絶縁材は、熱損失を低減し、冷却機の負担を軽減するのに役立ちます。一方、高度な酸素監視ツールは、圧力と酸素濃度の変化を自動的に検出し、人員の保護を強化します。Alpha 303i-Hには様々な便利なアクセサリーもあります。エンドエフェクタロボティクスに加えて、シリコンセンサ資産は、リアルタイムで炉内の温度を測定することができます。また、エピタキシャル蒸着時の粒子汚染を排除する自動粒子管理モデルもあります。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、優れた大気制御、高度な温度均一性、さまざまな有用な安全性とアクセサリ機能を備えたハイエンド拡散炉とアクセサリーです。半導体業界で高品質で信頼性の高い製品歩留まりを実現するための理想的な選択肢です。