中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097227 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉とアクセサリーは、ウェハやLEDなどの半導体材料の加工など、さまざまな用途に使用される信頼性の高い効率的な拡散炉です。TEL Alpha 303i-Hには、生産とシステムのメンテナンスを容易にするさまざまな機能が搭載されています。これは、ステンレス鋼で構成された1000リットル容量の炉室を備えており、最大60分の拡散時間を可能にします。クリーンな雰囲気を確保し、危険な排出量を削減するために排気クリーニングユニットが含まれています。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-Hは、ヒートゾーンやウェーハの搬送など、さまざまなガスフロー、調整、バルクハードウェアにも対応しています。Alpha 303i-Hには高度な制御装置が搭載されており、最大1100°Cの温度を正確に制御することができます。また、排気過負荷とパージングツール、内蔵バックアップ電源、統合された消火アセットなど、幅広い安全機能をお楽しみいただけます。このモデルには、コマンドの簡単なプログラミングのためのカスタマイズ可能なユーザーインターフェイス、ならびにリアルタイムの温度制御および機器および生産ログへのアクセスも付属しています。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i-H拡散炉およびアクセサリは、標準ウェハ、LED、その他の半導体部品を含むさまざまな部品に対応できます。また、化学蒸着（CVD）、拡散、酸化、窒化物蒸着、アニーリングなどの標準プロセスにも対応しています。信頼できる柔軟な拡散炉システムとして、99。999％の成功率で高品質な結果をもたらします。TEL Alpha 303i-H拡散炉では、広範囲の拡散器や付加的なアクセサリーも利用でき、スループットを向上させます。ウェーハキャリア、ヒートゾーン、ガスフローコントローラなど、さまざまなアクセサリーが用意されています。高信頼性で高効率なハードウェアとアクセサリーを組み合わせた東京エレクトロンアルファ303i-H拡散炉は、さまざまな生産ニーズに最適です。