中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #9253025 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303iアニールは、業界の専門家のニーズを満たすように設計された最先端の拡散炉です。この高度な炉は、不活性ガス、高温アニーリング操作、およびプロセスコントローラを使用して、すべてのアニール操作の温度を監視および調整することにより、正確で信頼性の高い拡散を提供します。このデバイスは、一貫した加熱および冷却温度を維持するために、高性能で正確なフィードバック装置を備えています。このフィードバックシステムは、急速な熱処理やパルスアニーリングなど、複雑なプロセスを実行する際に特に役立ちます。ユーザーは広い変数から望ましいアニーリングの温度および圧力を選ぶことができ作り付けのプロセスコントローラーは正確さを保障するために操作に従って自動的に設定を調節します。精密なアニール操作に加えて、Alpha-303iは耐久性と安全性も提供します。軽量で熱伝導性の高いアルミニウムで構成されており、信頼性を確保するだけでなく、過熱や火災リスクを低減します。密閉された不活性ガス室はまた炉が可燃性ガスから自由であることを保障します。その他の安全機能には、誤った設定が入力されたときにトリガーされるアラームユニット、チャンバー内の過圧を防止するガス圧力安全弁、および温度変動からデバイスを保護するための高度な温度絶縁が含まれます。このAlpha-303iは、± 1％の温度均一性で最大1500°Cの温度を達成することができます。さらに、ウェハアニーリング、エピタキシャル蒸着、ドーパント安定化プロセスなど、多くの追加操作を実行することができます。これらの操作は、さまざまなサイクル時間で完了することができ、コントローラの7インチのタッチスクリーンディスプレイで見ることができます。最後に、Alpha-303iは、プロセスガス排気機、ドアインターロック安全機能、チャンバー水冷ツールなど、いくつかのエキストラで完了しています。この高度なモデルは、手動操作と自動化された制御操作の両方にも対応しており、ユーザーは特定のニーズに合わせてさまざまなデバイス構成を利用できます。最終的に、TEL Alpha-303i Annealは、効率的かつ信頼性の高い方法でアニール操作の広い範囲を完了することができる優れた拡散炉の資産です。