中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293818364 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303iアニールは、半導体製造プロセスで使用される拡散炉とアクセサリーです。この先端技術は高速アニール機能を提供し、温度および大気制御の条件の広い範囲を扱うことができます。TEL Alpha 303i Annealは、高度な5ゾーンのデュアル周波数アンテナを備えており、アニールプロセスの制御において優れた精度と柔軟性を実現します。チャンバー全体は水晶でできており、収量を最大化するために信じられないほどの温度均一性を提供します。温度は、各ゾーンの温度を正確に監視する高速イオナイザーによって制御されます。これにより、ゾーン内の正確な温度制御が可能になり、ホットスポットが排除されます。アルファ303iは、不活性ガスからフォルム酸まで、さまざまな大気中で動作することができます。これにより、特定のアニーリングプロファイルを簡単に実現し、さまざまな材料を処理できます。効果的な熱源であるだけでなく、Alpha 303iは低い電気抵抗の加熱制御と効率的なエネルギー利用を提供します。優れた暖房機能に加えて、Alpha 303iには特定の製造ニーズを満たすように設計されたアクセサリーが装備されています。これらには、室内硬度測定システムが含まれており、チャンバー内でリアルタイム硬度測定が可能です。これにより、歩留まり管理とプロセス制御が強化され、より正確なトレーサビリティが得られます。TOKYO ELECTRON Alpha 303i Annealは、半導体メーカーのニーズに合わせて設計された、最先端の拡散炉とアクセサリーです。高度なデュアル周波数アンテナ技術とさまざまな高度な機能を備えたAlpha 303iは、比類のない効率と歩留まりで正確なアニール機能を提供できます。