中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293812986 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303iアニールは、半導体加工で広く使用されているコンパクトで高性能な拡散炉です。それは薄膜の沈殿物のための1150°Cまでの温度で良質のアニーリングを提供するように設計されています。均一な暖房を提供するように設計されているオールセラミックハースと5インチウェーハまで均一にアニールする能力を備えています。この炉にはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が装備されており、優れた精度と再現性で温度と加熱速度を制御します。また、ホットウォール設計を内蔵しており、均一な加熱を確保し、ホットスポットや酸化を防ぎます。アニールプロセスは手動および自動温度調整の両方の特定の必要性を満たすために合わせることができます。TEL Alpha-303i Annealは、スループットと安全性を向上させる自動ロードステーションと自動アンロードステーションも備えています。この炉は、メンテナンスとユーザーの介入を最小限に抑えるように設計されており、マルチステッププログラミングやフルデータロガーなどの高度な機能も備えています。ホットウォールデザインの東京エレクトロンAlpha-303iアニールは、品質を犠牲にすることなく、より短期間で優れたアニールされたウェーハを実現します。また、最高温度での汚染の可能性を最小限に抑え、信頼性の高い時間節約の生産性を提供します。それは低温、上限プロセス条件のための完全な選択です。