中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #9097223 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303Cは、半導体製造装置の世界的リーダーであるTEL （TOKYO ELECTRON）が製造する先進的な拡散炉です。TEL Alpha 303Cにはユニークなデザインがあり、重要なプロセス手順を正確に制御する必要があるチップメーカーに最適です。炉は1250°Cの高温限界のデュアルゾーン0。7立方フィートによって熱される部屋から成っています。ESD関連のプロセス工程を減らすために、オプションのプラズマ酸化段階が利用可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 303Cには、幅広い工程で精度と再現性をサポートする機能がいくつかあります。これには、ユーザーが手動で介入することなく、効率的な事前プログラムされたレシピをセットアップして実行できる組み込みのプロセスコントローラが含まれています。さらに、高速マスフローコントローラと統合された粒子汚染モニタリングシステムにより、ガス処理とチャンバーの清浄度を優れた制御が可能です。Alpha 303Cは最大圧力100Mbarで評価され、150°C/分の高速シーケンシング（FS）ランプ速度を備えているため、急速な熱アニーリングやトランジスタの活性化など、さまざまな材料プロセスに適しています。また、圧力インターロックやイオナイザーなどの先進的なフロントサイド安全機能も備えており、汚染や脆弱なプロセスコンポーネントへの損傷のリスクを低減します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303Cは、設定可能なサンプルハンドリングユニット（SHU-3000）やTEL-ATS Series 0および1などのウェハ転送システムなど、TEL/TOKYO ELECTRONの複数のアクセサリと互換性があります。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションに設定をカスタマイズできます。TEL Alpha 303Cは、革新と品質に対する東京エレクトロンのコミットメントの優れた例です。これは、プロセスの効率と精度を最適化するために設計されています、健全なプロセス制御原則とフロントサイドの安全機能を含めることにより、安全な動作を維持しながら。そのため、信頼性と精度の高い拡散炉を探しているチップメーカーにとっては優れた選択肢です。