中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #293643329 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303Cは、半導体デバイス製造などの技術アプリケーションで使用される拡散炉およびアクセサリです。TEL Alpha 303Cは、直径8インチまでの基板を高速で精密に加工できる、信頼性の高い強力な3ゾーン炉です。これは、広範囲の拡散プロセスガス、1000°Cまでの温度をサポートし、同時に最大4つの基板を収容することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303Cは、温度均質性に最適化された深冷ゾーン、均一性を向上させるための狭い温度範囲、高温範囲動作用のデュアルゾーンなど、いくつかの先進技術を備えています。デュアルゾーンゾーンは、炉の両側から水を供給することにより、冷水性能を向上させます。TELは、非常に高速な過渡応答時間を提供するためにAlpha 303Cを設計しました。さらに、その高度なPID制御システムは、独立した加熱制御を可能にするので、各基板はまったく同じプロセス条件を経験します。また、マルチレベルのセットポイント温度保護と温度分布制御を備えており、基板全体の温度変動を低減します。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303Cは、高度なマスフローコントローラを使用して、最適なプロセスガス供給を実現しています。これにより、優れた再現性と高品質な結果により、プロセスをはるかに高速で実行することができます。また、TEL Alpha 303Cにはオートチューニング機能が内蔵されており、設定温度、上下ゾーン間の電力配分比など、厳しい温度制御が不可欠な用途でのプロセス条件の変化を考慮したパラメータ調整が可能です。TOKYO ELECTRON Alpha 303Cは、パワフルで信頼性の高い高精度な拡散炉とアクセサリーで、様々なシマティックデバイスの製造や技術アプリケーションに適しています。拡散プロセスの優れた精度と再現性を提供し、ユーザーフレンドリーなセットアップと高度な機能により、業界のユーザーにとって優れた価値を提供します。