中古 TEL / TOKYO ELECTRON A808SE #9350868 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A808SEは、軽元素拡散及びCZ増殖に使用される拡散炉およびアクセサリ機器です。これは、ユーザーに最適な温度制御と均一性を提供するように設計されたマルチレベル構造です。シリコンウェーハ、IC、 LED、太陽光発電などのデバイスの製造に必要な高精度な温度制御と均一性を実現する最適なフラットな加熱設計を備えています。また、高精度の全閉ループコントロールユニットと、最適な性能を発揮する窒素循環装置を内蔵しています。さらに、このツール・トポグラフィには、半導体デバイスの温度と均一性の均一な分布を助けるロードロックが含まれています。TEL A808SEは、温度均一性と高速温度の上下サイクルのための2段階の加熱資産を採用しています。このユニットは1250°Cまで温度に達することができ、高度なピロメーターとPLCコントローラ、および正確な温度制御のための熱電対センサーが装備されています。高速反応素子と迅速なフィードバック応答により、± 1°Cの高精度を実現しています。さらに、モデルの高性能は、高信頼性冗長制御装置によってサポートされています。ワークステーションには、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイパネルだけでなく、操作、メンテナンス、クリーニングの容易さのための真空防止、セラミックインテリアも含まれています。TOKYO ELECTRON A808SEに安全制御を組み込み、意図しない実験を防止します。このシステムには、手動および自動温度制御モードの両方と、過剰な発熱反応などの問題が発生した場合に過剰サンプリングまたは過熱を防ぐための自動蓋コントロールユニットが含まれています。また、スムーズな実験操作や詳細な分析を行うための様々なハイテク機能を提供しています。様々な機能と高温を備えたA808SEは、軽元素拡散とCZ成長のための理想的なツールです。最高1250°Cの温度で高精度な実験を行い、半導体生産に最適な高速応答と精密制御を提供します。