中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358717 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9358717
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、高精度かつ高精度な材料蒸着操作を実現するために設計された高度な拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、制御装置、作業室、ガス入口、ヒーター、温度レコーダー、冷却ファンを備えた高温炉として機能しています。制御ユニットは、システムの電源入力を制御し、材料蒸着に必要な正確な温度を維持する責任があります。制御ユニットはまた、炉に接続されている他のシステムとの通信を容易にし、ガスと材料の流れを管理するのを助けます。TEL A303iの作業室は、拡散プロセスの強烈な熱と材料の流れを安全に封じ込めるように設計されています。チャンバーには、適切な保護と最大の結果を得るためのプログラム可能な石英ライナーと、チャンバーの内容物をさらに保護し、断熱性を向上させる保護毛布があります。TOKYO ELECTRON A 303 Iの構成要素の一つは、窒素やアルゴンなど、さまざまなガスを作業環境に導入できる強力なガス入口です。これにより、材料の蒸着または拡散に関連する特定のプロセスだけでなく、温度の正確な調整が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON(東京エレクトロン)303のヒーターは、拡散を容易にするために、内部の作業室や材料を加熱します。ヒーターには、高い断熱機能を備えたクォーツロッドと、安全のための自動シャットオフ機能があります。温度レコーダーは、チャンバー内の材料の温度を監視し、結果を簡単に参照できるように表示します。これにより、チャンバー内部の温度を正確に制御することができ、拡散プロセスの精度が向上します。A 303 Iの冷却ファンは、ユニットの温度を制御するために必要な部品です。ファンはチャンバー内部の全体的な熱を低減するように設計されており、ヒーターが指定された範囲内で機能し、プロセス温度が一貫していることを保証します。A303iは材料の沈殿プロセスのための正確で、精密な結果を提供するように設計されている最先端の拡散炉およびaccessorie機械です。強力なガス入口、石英ライナー、冷却ファンはすべて、一貫した温度を維持するだけでなく、結果の全体的な精度を向上させるのに役立ちます。最終的に、TOKYO ELECTRON A303iは、今後何年もの間、材料沈着プロセスに利益をもたらすツールです。
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