中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358606 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、さまざまな熱処理アプリケーションに使用される高度な拡散炉とアクセサリーです。高精度温度制御を実現し、炉の底面から上面から600°Cまでの均一な温度範囲を提供します。また、分析機能の強化、信頼性の向上、熱均一性、迅速な応答時間を提供します。TEL A303iは900°Cまでの熱酸化、高度の熱拡散を遂行でき、アニールおよびエピタキシャル成長に使用することができます。高品質の強制空冷技術を採用し、チャンバー全体の温度分布を最適化し、均一な放熱を実現します。温度は、段階的または連続的に、チャンバー全体で異なる値に設定することができます。これにより、必要なプロセスに正確で均一な温度条件が作成され、優れたプロセス品質が得られます。TOKYO ELECTRON A 303私は発電機とマフラー2台を装備しています。発電機は、リアルタイムで詳細なプロセス情報を解放し、酸化プロセスの信頼性の高い制御を可能にします。さらに、発電機には、空気の流量と発熱体の温度を測定する2種類のオンボードセンサーとモニターがあります。これにより、正確な温度制御が保証され、炉の精度が大幅に向上します。TOKYO ELECTRON A303iにはオプションの自動ウェーハ搬送装置が付属しており、最大24個のウェーハを同時に処理できます。このシステムは、タイムコントロール動作時に各ウェーハの軌道と回転を制御することにより、最適かつ均一な結果を提供するように設計されています。これにより、再現性のある結果が保証され、プロセスがさらに最適化されます。さらに、A 303 Iは、パスワードで保護されたPower Onユニットを内蔵した高いデータセキュリティも提供しています。この炉はまた、低消費電力で中断のない運転を保証し、総運転コストを最小限に抑えるように設計されています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON A 303 Iは、高精度な温度制御、分析機能の強化、信頼性の高い動作、熱均一性、迅速な応答時間を提供する高度な拡散炉およびアクセサリです。これは、熱処理アプリケーションの広い範囲に適しており、エネルギー消費の面でコスト削減を提供します。