中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351450 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9351450
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Vertical diffusion furnaces, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、TELの画期的な拡散炉とアクセサリーパッケージで、幅広い用途に使用できます。このパッケージには、温度と成長条件を正確に制御するためのTEL A303iコントローラを内蔵したハイテク拡散炉と、操作に必要なアクセサリーの配列が含まれています。TOKYO ELECTRON A 303 Iは最高処理温度1050°Cを備えており、半導体デバイスや誘電膜などの最先端材料に最適です。A303i拡散炉には、コスト削減、高温制御、精密な再現性など、いくつかの利点があります。東京電子A303i拡散炉に伴うコスト削減は、最大30kWの電力を使用したり、電気と流れるプロセスガスを組み合わせたりする、非常に効率的な発熱体に起因します。A 303 I拡散炉の配電は完全にカスタマイズ可能で、さまざまなサイズのウエハに調整できます。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 Iを使用することで、サイズや形状に関係なく、ウェーハを均一に加熱することができます。また、TEL A 303 I拡散炉は高精度な温度制御を実現し、サンプルの破損を心配することなく、すべてのユーザーが望ましい結晶成長を達成することができます。再現性に関しては、TEL/TOKYO ELECTRON A303iは± 0。2°C以下の再現精度を備えており、再現性の高い結果を得るために不可欠な再現性を確保しています。さらに、特許取得済みのガスインライニングシステムは、偶発的なガスの流れを提供することにより、運転中の安全リスクを大幅に低減し、拡散プロセス中に壊滅的な事故が発生しないようにします。TEL A303iパッケージには、操作に必要なアクセサリーも含まれています。これらのアクセサリーには、高速ウエハ排出用の10 l/min回転速度の真空ポンプ、大容量ガス混合バルブ、ガス排気用の高流量バルブを備えた専用ポート、および高精度ガス流量用のオプションのガスインラインバルブが含まれます。さらに、各システムには見やすいマニュアルが付属しており、トレーニング用のツールも用意されています。A303i拡散炉とアクセサリーパッケージは、正確な結晶成長やその他の拡散プロセスのための汎用性と信頼性の高いシステムを求める人に最適です。東京電子A303iは、効率的な発熱体、精密な温度制御、再現性、包括的な安全部品を活用し、幅広い用途に最適なソリューションです。
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