中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351448 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303i拡散炉は、材料や部品を基板などに拡散させる先進的な装置です。この先進的な機器は、大規模なプロジェクトを管理するための多くのプログラム可能でカスタマイズ可能なオプションを備えています。また、追加機能を有効にするアクセサリの数を備えています。TEL A303iは、サイドウォールとトップウォールの炉の要素を備えた3チャンバーの垂直までの設計です。この組み合わせにより、プロセスで最大6つの基板ホルダーを使用できます。このシステムは、シリコン、アルミニウム、金属などのさまざまな材料を拡散させることができるため、大規模な部品や材料の製造に最適です。このユニットの電源は、6本の巻線を備えた巻線部と、デジタル-アナログ（D/A）変換を備えたトランスセクションを備えています。これにより、出力と温度調節を正確に制御できます。このマシンは、シングルパス、マルチパス、マルチ循環、ダブルパスなど、複数の拡散操作も提供します。このツールの自動化された機能は、拡散速度と温度を正確に制御するだけでなく、熱処理を正確に制御することもできます。このアセットは、温度上昇ごとにステップ数を調整することで設定できる正確な制御範囲を提供します。さらに、追加のアジャスターにより、ユーザーはサーマルサイクルの最大時間制限を設定できます。拡散プロセスが完了すると、基板と材料を素早く効率的に冷却することができます。これには、ファンによるアクティブ冷却と外部循環回路による冷却が含まれます。オプションのカセットハンドラアセンブリも利用可能で、チャンバ間の基板の容易な転送を可能にします。東京電子A303i拡散炉とアクセサリーは、大規模な部品や材料を迅速かつ正確に拡散します。その複数のプログラム可能なオプションと自動化された機能により、拡散プロセスのための効率的で汎用性の高いツールとなります。