中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315050 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、ウエハ加工用の高性能拡散炉および付属品です。半導体製造環境向けの信頼性が高く、使いやすく、長持ちするツールです。TEL A303iは熱プロセス制御に使用される高温マルチゾーン炉です。さまざまな基板や材料に精密かつ再現可能な熱処理条件を提供します。TOKYO ELECTRON A 303 Iは最高温度1200°Cで、最大20°Cから1200°Cまでの範囲が可能です。また、± 2°Cの均一性と± 0。1°Cの安定性を備えています。ウェーハを短時間で温度マッピングするために特別に設計された高度な高度な制御システムを使用しています。303 Iはウェーハの温度に関する動的情報を提供することができ、ウェーハの反りや輪郭の不均一な熱処理を防ぐために使用することができます。東京電子A303iには、放熱性と温度モニタリング性を向上させるグラファイトサセプタライナーも搭載しています。また、サセプタライナーは、ウェハ製造時のクリーンな処理環境の維持にも役立ちます。高品質な熱処理に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON A 303では様々なプロセスガス制御システムをご紹介しています。複数のガスの50/50から99/1までの幅広いプロセスガス混合比を実現し、ウェーハ品質の最適化に大きな柔軟性を発揮します。また、オンラインガスフローメーターを介して正確なプロセス制御を提供します。A303iは、加熱速度、温度プロファイル、プロセスレシピなどの複数のプロセスパラメータを使用でき、個々のプロセス要件を満たしてデバイスのパフォーマンスを向上させるようにプログラムすることができます。温度センサや過電流保護対策など、さまざまな安全オプションが組み込まれています。これにより、TEL A 303 Iは熱処理のための効率的で正確で安全なシステムとなります。最先端の技術と最高の機能により、ウエハの生産に比類のないパフォーマンスを提供します。