中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315049 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、電気特性に優れた構造物を製造できる高温拡散炉です。TEL A303iは、高性能デバイスの製造に最適です。その高度な設計は、優れた温度の均一性を可能にします。TOKYO ELECTRON A 303 Iは最高気温1800°Cを誇り、独立したるつぼポール構造とアクションタイプの大気システムを備えています。この拡散炉には、冷却時間を短縮するガス供給パネルが含まれています。それに235mm （9。25"）までの積載量の2つのPENN STYLE™炉があります。正確な温度制御により、再現性と最適な結果が保証されます。303 Iは、ユーザーの効率と生産性を高めるために、さまざまなアクセサリーを備えています。前駆体給餌システムは、前駆体として有機粉末または無機粉末のいずれかを供給するために使用することができます。RTox （Rapid Thermal Oxidizer）モジュールを装着することで、高エリアスループットと高品質の酸化膜の製造が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON A 303プログラマブル電子コントローラ（PEC）も搭載し、信頼性の高い再現可能なデバイス処理を実現しています。使いやすいタッチスクリーンと統合されたニクロムストリップ制御を備えており、均一な温度分布を実現しています。PECにはフィードバック制御も含まれており、最大30のプログラムをレシピとして保存することができます。さらに、A303iには、最大の稼働時間を確保する高度な診断機能が含まれています。オンボードマスフローコントローラ（MFC）を搭載しており、正確で安定したガスフローを提供し、クールダウン時間を最小限に抑えるためのサーマルカップウォームアップ機能を備えています。この炉には、緊急遮断弁と統合された安全インターロックシステムも装備されています。TEL A 303 Iは、精密な温度制御と高度な機能を提供し、ユーザーが生産を合理化し、最大収量に素早く到達できるようにします。TOKYO ELECTRON A303iは、様々な用途に合わせたカスタマイズが可能です。