中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315048 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、高性能・多機能拡散炉とその付属品です。これは、高度な半導体プロセス技術アプリケーションのニーズを処理するために設計されています。それは精密な温度調整、過熱保護および均一な前部背部熱配分を提供します。その高度な温度均一性制御技術は、正確なウェーハ基板温度プロファイルを保証します。この炉は、大きなバッチウエハ処理に対応できるほどの大規模炉容積を採用しています。また、ユーザーがリアルタイムでプロセスの状態を監視することを可能にするオンボードモニタリング機器も含まれています。このモニタリングシステムを使用することで、ユーザーはより良い意思決定を行い、生産効率とスループットを向上させることができます。TEL A303iは柔軟に設計されており、既存のプロセスツールと容易に統合できます。また、多種多様な構成を実行できる高度なユニットを備えています。最大2,400mmの大型ウエハプロセスに対応可能です。炉は再現可能な温度調整と0。1°Cの温度の正確さを可能にするために合わせ、構成することができます。TOKYO ELECTRON A 303 Iは、温度プロファイルの再現性と高精度を確保するために設計されています。高品質な材料で構成され、超高温動作のための統合された水晶反応器と最適な体積のための大型反応室を備えています。さらに、ウェーハ上の均一なアライメントのための自動ウェーハローディングとトランスファーアームも含まれています。また、幅広い動作温度で耐久性を確保するために、安全で耐食性の高いステンレス製の外装を備えています。さらに、炉は環境への最小限の熱損失および優秀な絶縁材と設計されています。反応室の内部は加熱ガスで移植され、ウェーハ材料の内部と下部の精密温度を維持します。TEL A 303 Iは、幅広い安全機能を備えた高い安全性を提供します。これらの機能には、即時シャットダウン用の緊急停止ボタン、プロセス故障防止用の過熱センサー、および周囲環境への放熱を最小限に抑えるための密閉されたヒートシールドコアが含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON A 303ウェーハが反応室に落下するのを防ぐフェイルセーフ障害物検出機を搭載。また、オートメーションやプロセス制御のためのアクセサリの広い範囲と互換性があります。結論として、A 303 Iは、高精度な温度制御、過熱保護、および高度な半導体アプリケーションの均一な熱分布を提供するように設計された多機能拡散炉とその付属品です。その高度な温度均一性制御技術と幅広い安全機能により、業界の厳しい要件に最適です。