中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9314617 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9314617
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体業界で広く使用されている拡散炉とアクセサリーです。この拡散炉は、半導体デバイス製造のニーズに応えるよう設計された高性能炉で、ドーピング、酸化、蒸着、熱半導体デバイス処理などの用途に使用できます。TEL A303iは、堅牢な構造、ステンレス製ライナー、200°C〜1050°Cの正確な温度範囲、および3ゾーン独立したホットゾーン制御機能を備えています。装備された鏡面水晶チューブは、ウェーハ表面を均一に和らげます。ホットゾーン構成、温度制御、ガス配分システムにより、迅速かつ安定した運転が可能です。複数の機能により、アプリケーションごとに理想的な処理条件を選択できます。高速データ収集システムは、プロセス条件を監視および記録し、リモートアクセスオプションを使用すると、ユーザーは任意の場所からプロセス条件を監視することができます。さらに、このソフトウェアはプロセスデータの表示と印刷を可能にし、トラブルシューティングやプロセスの最適化に役立ちます。TOKYO ELECTRON A 303 Iの長期安定性とメンテナンスフレンドリーな設計により、効果的な長期運用を実現します。メンテナンスは簡単で高速であるため、信頼性の高い拡散炉とアクセサリーになります。
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