中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311324 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9311324
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEKTEL/TOKYO ELECTRON A303iは、熱制御環境と高度なマテリアルハンドリングを組み合わせた高精度の熱支援プロセス用に設計された拡散炉です。拡散炉自体は2つのコンパートメントで構成されており、内部には熱ゾーン、外にはガスゾーンがあります。熱帯は均一な温度に保たれ、ガスゾーンは安全のために隔離されます。炉の外の場合は高い等級のステンレス鋼から組み立てられ、可燃性絶縁材料と絶縁することができます。強制空気と放射ヒーターを組み合わせて温度制御を行います。また、小規模運転のために電気熱伝導チャンバーを取り付けることができます。このシステムは、パフォーマンスと機能性を向上させるためのさまざまなアクセサリを提供しています。ガスマネジメントユニットは、ガスを炉に供給する速度を制御し、流量と量を正確に制御します。マテリアルハンドリングマシンは、トリートメントチャンバーとの間で正確なマテリアルトランスファーを提供します。調節可能な送り装置は供給ベルトからの処置に材料を与えます。複雑な積載要件のために、複数のスタッカーと自動化されたコンベアを組み合わせることで、柔軟なマテリアルハンドリングユニットを形成できます。炉のデータロギングと分析は、さまざまな温度センサーを介して行われます。このツールには、詳細なプロセスデータを表示できるグラフィックユーザーインターフェイスが装備されています。データはリアルタイムチャートとグラフの形で記録され、表示されます。資産全体をリモートで監視し、イーサネットポートを介して制御することができます。さらに、前処理および後処理ステーションを備えており、処理プロセスの前後に材料の品質管理が可能です。後処理機能には、エッチング、検査、サンプルの保管などがあります。この装置はダウンタイムを最小限に抑え、素材の迅速かつ効率的な取り扱いを可能にします。TEKTEL A303iは、精密熱処理のための環境に優しく、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。それは多くの先端物質的な処置の優秀な精密、品質管理および性能を達成する用具を提供します。
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