中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311191 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体製造に特化した拡散炉・アクセサリーです。円筒形で硬いフレームに取り付けられたチャンバーを備えた垂直型拡散炉です。炉の部屋はステンレス鋼の特別な等級から成り、拡散プロセスで使用される高温および圧力に抗できるように設計されています。TEL A303iは、低圧、高圧、急速熱処理など、さまざまな拡散プロセスを実行できます。タッチパッドディスプレイ付きのパネルを使用して制御し、非常停止システムや自動ガスシャットダウンシステムなど、さまざまな安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON A 303ウエハサイズは2〜6インチの範囲で、さまざまなウエハーに対応できます。この炉は、最大温度1,100°Cをサポートするように設計されており、1バッチあたり最大50ウェーハを収容できます。また、一度に複数のウェーハを加熱・冷却することも可能で、1つのバッチで処理することができます。303 Iにはオンボードガス供給とレギュレータも付属しているので、炉のガス圧力を簡単に調整できます。クォーツライナー、ウェーハホルダー、真空ポンプなど、プロセス拡散に必要なアクセサリーも多数付属しています。これらのアクセサリーはすべて、炉の寿命を延ばし、効率を高めるように設計されています。予防保全のために、TEL/TOKYO ELECTRON A 303私は、炉の潜在的な問題を検出するために使用することができる自己診断機能とモニターの数を含みます。これらの自己診断テストの結果は、炉の修理または再調整の必要性を示すために使用することができます。全体として、TEL A 303 Iは半導体生産の基準を満たすように設計された信頼性が高く、使いやすい拡散炉です。それは高度な安全機能で作成され、拡散のプロセスをより簡単かつ効率的にするために、さまざまなアクセサリーが付属しています。