中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271255 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体製品の加工を向上させるために開発された拡散炉と付属品です。この拡散炉は1300 ℃の最高温度を備えており、酸化や拡散などの高熱プロセス用に設計されています。異常温度状態を検知できるセンサーを搭載し、内部温度を正確に制御します。また、標準的なウェーハカセットアウトレットと、便利なウェーハ操作のためのカセットローディングとアンロード装置を備えています。また、少量のウエハにも対応できる自動カセットロードシステムを搭載しています。ウェーハの移動を高速化し、加熱・冷却時間を短縮してウェーハの均一性を向上させます。炉の内部は石英ガラスでできており、透明性の向上によりウェーハの充放電を効率的に行うことができます。また、LED照明機を備えており、炉の中の様々な場所でアイテムを検索するスムーズなプロセスを実現しています。TEL A303iは適応性が高く、各種熱処理（アニーリング、酸化等）に適用でき、大量生産も可能です。この炉は究極の安定性と信頼性のために設計されており、停電時にツールを再び動かすことができる自動再起動メカニズムと、必要に応じて不活性ガスを導入するために使用できるオプションの内部ガス注入アセット（GIS）を備えています。東京エレクトロンA 303 Iは、あらゆる半導体製品加工の重要な部分であり、一貫した信頼性と安全な熱加工ソリューションを提供します。センサーから自動再起動メカニズムまで、さまざまな機能を備えたA 303 Iは、あらゆるプロセスエンジニアに最適です。