中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271021 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体生産のために設計された拡散炉とアクセサリーです。この特定の拡散炉には、完全に自動化された大気レベル、温度、出力、および強度コントローラや調節可能な蒸発源などの高度な技術が搭載されており、非常に均一な熱環境を作り出しています。さらに、TEL A303iにより、製造工程において、異なる基板の同時熱酸化、アニール、拡散が可能になります。東京エレクトロンA 303 Iは、石英管炉室により高温処理が可能で、最大1100°C （2012°F）の温度に到達することができます。TEL独自の省エネ型放射熱技術を採用し、高効率で温室効果ガス排出量の削減に貢献しています。また、長い生産期間にわたってプロセスの安定性を維持する温度安定化装置を装備しています。また、ウェーハホルダー配置センサーを搭載し、排気システムと連動してチャンバーの温度を均一に保つことができます。TEL A 303 Iの高度な機能により、ガスの流れや混合物を正確に制御できます。ガスの流れと混合物を制御するだけでなく、圧力、流量、温度を外部測定するためのさまざまなインターフェイスポートを備えています。これらのポートは、生産データを記録するためのPCなどの他のデバイスの広い配列の統合を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON A 303長時間の動作でも使いやすいことを保証するため、安全性と人間工学に基づいた多数のテストに合格しました。さらに、A 303 Iの動作に関わるすべてのプロセスは、高精度の自己検出ユニットによってダブルチェックされ、監視されます。使用目的に応じて、A303iはユーザーが自分のニーズに最も適したデバイスをカスタマイズすることを可能にするオプションパーツの配列を持っています。切り替えることができる部品は水晶容器、励起機械部品、排気用具、冷却ファンおよび遠隔モニターおよびコントローラーを含んでいます。東京電子A303iは、市場で最も先進的な拡散炉です。最適な半導体生産に必要な最も正確で均一な条件をユーザーに提供します。