中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271015 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、シリコンウェーハ熱処理用に設計された拡散炉および関連機器です。この高度なシステムは、加熱壁、石英炉だけでなく、ポリシリコン、アルミニウム、リン、さらにはゲルマニウムなどのさまざまな材料のドーピングに対応する能力を備えています。クオーツ炉は、ユーザーがクオーツラインチャンバーの温度と圧力を正確に制御することができ、予測可能で制御可能な熱処理に最適な環境を提供します。TEL A303iは、最大1200°C （2192°F）までの最高温度機能を提供し、石英チャンバー内の± 5°Cまでの均一性を提供します。部屋はまた暖房および冷却によるウェーハの損傷を最小にするように設計されています；革新的な設計は熱衝撃から水晶を保護する作り付けの水ジャケットを特色にします。TOKYO ELECTRON A 303温度、時間、圧力を正確に制御できます。あらかじめプログラムされた機能（浸漬時間およびステップ加熱を含む）は、熱処理パラメータに対するユーザーのより大きな制御を提供するために利用可能です。プロセスコントローラはさらに、ユーザーフレンドリーなソフトウェアを搭載した強力なオンボードコンピュータを提供することで、ユーザーは手動でプロセスをプログラミングしたり、事前にプログラムされた機能を利用したりすることができます。さらに、ユーザーはさまざまなプロセス設定から選択して、各熱処理をカスタマイズできます。チャンバーに設置されたセンサーは、ウェーハの温度と圧力を制御し、温度プロセス全体を監視します。ハードウェア的には、Quartz Tube、 Vacuum Chamber、 Quartz Domeで構成され、それぞれがツールの最新技術と互換性があるように設計されています。この資産には、使用されるガスが指定された範囲内に保たれるようにするための安全ガス圧力レギュレータも装備されています。さらに、ウェーハヒータープレート、ホットプレート、クォーツプレートを使用することで、より効率的で信頼性の高い熱処理を実現します。303 Iは信頼性が高く、使いやすい拡散炉であり、熱処理を精密に制御できるように設計されたアクセサリーモデルです。最大1200°Cまでの最高温度性能、± 5°Cまでの均一性、およびさまざまな熱処理ニーズに対応するために、浸漬時間やステップ加熱などの事前プログラム機能を備えています。この装置は、熱衝撃からの保護が内蔵されており、温度、時間、圧力を正確に制御できるため、シリコンウェーハ処理に最適です。