中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271013 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体研究と製造に特化した強力な拡散炉です。このツールは、ドーパントを基板材料に拡散させることを容易にし、複雑な半導体デバイスの作成を可能にします。TEL A303iには5つの垂直ゾーンと1つの共通アッパーゾーンがあります。すべての5つのゾーンは、温度と大気の両方で独立して制御されています。TOKYO ELECTRON A 303 Iは、酸化と還元の両方で1400°Cまでの温度が可能です。さらに、このチャンバーは高純度の水素ガスと塩素ベースの大気で動作することができます。A303iは、最新のPAM-2000制御システム、高度なセンサの配列、および最適なウエハ処理条件の監視と維持のための計測装置を備えています。それはまたユーザー制御可能なふたを提供します。このフレキシブルな蓋により、開口数を調整したり、ガラスドアからウェーハに入ることができます。パワフルなTOKYO ELECTRON A303iは、調整可能なプラテン間隔、大型の炭化ケイ素ボトムとトッププラテン、スタイリッシュなカセットキャリア、自動ウェハ搬送ポート、ステッピングモータ駆動システムなどを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I拡散炉は、精密半導体デバイスの生産を求めるユーザーに最大限のプロセス制御と柔軟性を提供します。革新的な機能と先進技術を備えたA 303 Iは、幅広い半導体アプリケーションに最適です。